干燥法

晶圆的清洗与冲洗干燥

在集成电路制造的精密流程中，清洗工艺作为保障高良率与可靠性的基石，其重要性常被低估却贯穿始终。晶圆在储存、搬运及加工过程中，不可避免会附着微米级甚至纳米级的尘埃颗粒与微量杂质——这些污染物若未被彻底清除，将直接导致电路图案缺陷、绝缘膜漏电或金属布线腐蚀，最终引